| |
Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов [Текст] / А. А. Дружинин, В. И. Голота, И. Т. Когут, Ю. Н. Ховерко
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 4. – С. 20-25.
Показаны примеры приборных элементов для микросистемных приложений, сформированных на локальной трехмерной КНИ-структуре. Разработана топология микрокатода. |
