Представлен обзор информационных источников по физико-химическим процессам формирования функциональных поверхностей детали электронной техники и оптических систем из стекла и сапфира (a-Al_2O_3). Установлено, что невозможно обеспечить необходимые требования к состоянию их поверхностей до уровня "атомно-гладких" без физико-химического взаимодействия обрабатываемого материалов на заключительном этапе обработки - трибохимическом полировании.