| |
Электроснабжение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозатором [Текст] / Л. Б. Джангидзе, А. Н. Тавхилидзе, Ю. М. Благидзе, З. И. Талиашвили
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 1. – С. 37-42.
Предложены различные технологические приемы, позволяющие получить правильную геометрию электрода в процессе электроосаждения меди. |
