| |
Розробка радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури "метал-сегнетоелектрик-напівпровідник" [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, С. В. Барабан, О. М. Ільченко
// Вісник ВПІ. – 2008. – Вип. 3 (78). – С. 94-97.
Проаналізовано сучасні технології отримання тонких сегнетоелектричних плівок, методи побудови радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури. |
