| |
Ковшов, С. Б.
Измерение трехмерных структур на интерференционном микроскопе с интерферометром перемещения [Текст] / С. Б. Ковшов, В. С. Купко, И. В. Лукин
// Український метрологічний журнал. – 2009. – № 2. – С. 39-43.
Дано описание устройства на основе интерференционного микроскопа и лазерного интерферометра перемещения. Приведены результаты измерений мер высоты ступени и решеток. |
