Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНТУ
Українська
Русский
English
Авторизація
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
621.382(075)
К 78
Кравченко, Ю. С.
Хімічні процеси в мікроелектронній технології
[Текст] : навчальний посібник / Ю. С. Кравченко, Є. О. Смольков ; МОН України, ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2007. – 53 с. – 75.
УДК 621.382(075)
Замовити
Додати до списку
Примірники
Місце збереження
Кількість
В наявностi
301 - від. книгозберігання
1
1
603 - ч/з для студ. ст. курсів
3
3
604 - абон. для студ. ст. курсів
48
48
703 - абон. наук. літ.
3
3
704 - ч/з наук. літ., економ.та
1
1
Теми документа
Автори ВНТУ/Кравченко Юрій Степанович/Кравченко Ю. С.
Автори ВНТУ/Смольков Євген Олександрович/Смольков Є. О.
Ключові слова/А/автор ВНТУ, author of VNTU
Ключові слова/Т/технологія мікроелектронна
Ключові слова/Ф/фотолітографія, фотолитография
Статистика використання: Видач: 0
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'