| А 65 |
Андреев, В. М.
Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов [Текст] / В. М. Андреев, Л. М. Долгинов, Д. Н. Третьяков. – М. : Сов. радио, 1975. – 328 с. – 6000.
Ррссмотрен новый метод в технологии полупроводниковых приборов и материалов - жидкостной эпитаксии (ориетированной кристаллизации монокристаллических слоев полупроводниковых материалов из растворов этих материалов в расплавленных металлах). |
