| М 59 |
Мікроелектронні сенсори фізичних величин [Текст] : Науково-навчальне видання: В 3 томах. Т. 1 / МОН України; Уклад. : В. Вуйцік, З. Ю. Готра, В. В. Григор'єв; за ред. З. Ю. Готри. – Львів : Ліга-Прес, 2002. – 475 с. – 500.
Розглянуті теоретичні принципи побудови та технологічні основи виготовлення мікроелектронних сенсорів фізичних величин. |
