| М 59 |
Мікроелектронні сенсори фізичних величин [Текст] : Науково-навчальне видання: В 3 томах. Т. 2 / В. Вуйцік, З. Готра, О. Готра [та ін.] ; МОН України, НУ "Львівська політехніка". – Львів : Ліга-Прес, 2003. – 595 с. – 500.
Описані принципи функціонування, конструкції і характеристики мікроелектронних сенсорів температури, мікроелектронних сенсорів механічних величин, сенсорів фізичних величин на основі розподілених RC-структур, акустоелектронних сенсорів, термоелектричних сенсорів та мікроелектронних сенсорів газу. |
