П 18 |
Парфенов, О. Д. Технология микросхем [Текст] : Учебное пособие для вузов / О. Д. Парфенов. – М. : Высшая школа, 1977. – 256 с. – 35000.
Рассмотрены технологические основы производства интегральных полупроводниковых и гибридных пленочных микросхем. |