| Д 18 |
Данилин, Б. С.
Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Б. С. Данилин. – М. : Энергия, 1977. – 136 с. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып.10). – 10000.
Рассмотрены вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировки. |
