| Д 18 |
Данилин, Б. С.
Ионное травление микроструктур [Текст] / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. – М. : Сов. радио, 1979. – 103 с. – (Массовая биб-ка инженера. Электроника. Вып.21). – 8000.
Приводится классификация процессов травления материалов, используемых при производстве микроэлектронных приборов. |
