Б 73 |
Богдан, Г. И. Пленочная электроника и полупроводниковые интегральные схемы [Текст] : Учебное пособие / Г. И. Богдан, М. М. Некрасов. – К. : Вища школа, 1979. – 208 с. – 9000.
Освещены вопросы физики твердого тела, расчета и технологии интегральных элементов и схем на основе тонких и толстых пленок. |