| С 95 |
Сысоев, В. В.
Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства [Текст] / В. В. Сысоев. – М. : Радио и связь, 1982. – 119 с. – 3500.
Рассматриваются вопросы построения моделей, позволяющих проводить автоматизацию процессов проектирования и выбора решений. |
