| П84 |
Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок [Текст] : Доклад симпозиума 6-8 июня 1978г / Отв. ред. Ф.А.Кузнецов. – Новосибирск : Наука, 1981. – 277 с. – 1350.
Рассматриваются принципы и методические разработки управления процессами роста полупроводниковых кристаллов и пленок. |
