| Н 69 |
Нитрид кремния в электронике [Текст] / Белый В.И., Васильева Л.Л., Гриценко В.А.; Отв. ред. А.В. Ржанов. – Новосибирск : Наука, 1982. – 180 с. – 1350.
Рассматриваются физико-химические характеристики процесса синтеза, состав и структура слоев нитрида кремния. |
