| О 22 |
Оборудование полупроводникового производства [Текст] / Под ред. П.Н.Масленникова. – М. : Радио и связь, 1981. – 336 с. – 5000.
Описаны конструкции и приведены основные характеристики наиболее широко применяемого оборудования полупроводникового производства, сформулированы требования, предъявляемые к оборудованию, а по основным видам оборудования - практические рекомендации по оперативной проверке исправности его. Для инженеров и научных работников. |
