| К 65 |
Концевой, Ю. А.
Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур [Текст] / Ю. А. Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов. – М. : Радио и связь, 1982. – 239с : ил. – Библиогр.:с. 215-235. – 4100.
Дан обзор методов исследования пластичности и прочности монокристаллических полупроводников, показана связь этих параметров с кристаллической структурой и свойствами дислокаций, а также с процессами изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для инженеров-физиков и технологов, занимающихся металловедением полупроводников. Может быть полезна студентам вузов соответствующих специальностей. |
