| И 20 |
Иванов, Р. Д.
Магнитные металлические пленки в микроэлектронике [Текст] / Р. Д. Иванов. – М. : Сов. радио, 1980. – 191с : ил. – Библиогр.:с. 178-188. – 6000.
Рассмотрены основные этапы формирования металлических пленок. Достаточно подробно описаны основные методы нанесения пленок:вакуумное исспарение, электролитическое осаждение, катодное распыление. Для специалистов, работающих в области пленочной микроэлектроники, а также для технологов, разрабатывающих процессы создания магнитных интегральных схем. Может быть полезна студентам и аспирантам соответствующих специальностей. |
