| Д 70 |
Достанко, А. П.
Технология интегральных схем [Текст] : Учебное пособие / А. П. Достанко. – Минск : Вышэйшая школа, 1982. – 206с. – 7000.
Рассматриваются теоретические основы технологических процессов производства интегральных схем (ИС), оборудование для их реализации, типовые технологические процессы изготовления полупроводниковых, гибридных тонкопленочных и толстопленочных ИС. Для студентов радиотехнических специальностей втузов, может быть использовано инженерно-техническими работниками, связанными с созданием и эксплуатацией микроэлектронной аппаратуры. |
