Посвящена процессу генерирования изображений в производстве интегральных микросхем, ставшему одним из основных процессов, определяющих дальнейшее развитие микроэлектроники. Для широкого круга специалистов, занятых исследованиями, разработкой и производством интегральных микросхем и технологического оборудования, а также работающих в смежных областях. Послужит пособием для студентов, аспирантов, преподавателей и научных работников в области электроники.