Б 79 |
Болванович, Э. И. Полупроводниковые пленки и миниатюрные измерительные преобразователи [Текст] / Э. И. Болванович ; АН БССР. Ин-т физики твердого тела и полупроводников. – Минск : Наука и техника, 1981. – 214с. – 1800.
Обобщены и систематизированы результаты исследований тонких пленок полупроводников с целью создания на их основе и с применением методов интегральной технологии нового поколения миниатюрных твердотельных измерительных преобразователей (ИП). Для специалистов, занятых разработкой и применением твердотельных ИП. Может быть полезна студентам и аспирантам, специализирующимся в области твердотельной электроники, контрольно-измерительной техники, автоматики. |