| П 36 |
Пичугин, И. Г.
Технология полупроводниковых приборов [Текст] : Учеб. пособие для вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров. – М. : Высшая школа, 1984. – 288с : ил. – 23000.
Дан анализ технологических процессов производства полупроводниковых приборов. Для студентов вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы". |
