Изложены системы параметров теплового режима полупроводниковых микросхем и принципы их определения. Рассмотрены наиболее широко применяемые методы измерения тепловых сопротивлений и подробно проанализированы их систематические и случайные погрешности. Для инженерно-технических работников, связанных с разработкой ИС и радиоэлектронной аппаратуры.