Б 48 |
Березин, А. С. Технология и конструирование интегральных микросхем [Текст] : Учеб. пособие для вузов / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина. – 2-е изд., перереб. и доп. – М. : Радио и связь, 1992. – 320с : ил. – 25000.
Рассмотрены вопросы технологии кремниевых полупроводниковых, пленочных и гибридных интегральных микросхем различной степени интеграции, методы проектирования их элементной базы. |