| Б 78 |
Боков, Ю. С.
Фото-, электроно- и рентгенорезисты [Текст] / Ю. С. Боков. – М. : Радио и связь, 1982. – 136с : ил. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры). – Библиогр.: с. 129-135. – 8500.
Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники. |
