| Т22 |
Таруи, Я.
Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с яп. В. А. Лазарева, под ред. В. Г. Ржанова. – М. : Радио и связь, 1985. – 479 с. : ил. – 2,70 р., 10000 экз.
Дана классификация различных типов деффектов, методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов. |
