| Х 98 |
Храбан, А. А.
Основи технології напилення та фотолітографії в мікроелектроніці [Текст] : Навчальний посібник / А. А. Храбан, В. М. Мізерний, В. І. Лукашевський. – Вінниця : ВДТУ, 1998. – 87 с. – 25.
В посібнику викладена техніка і технологія напилення тонких плівок і фотолітографії, специфіка кожної технологічної операції. |
