| П58 |
Попов, В. К.
Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии [Текст] / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. – М. : Радио и связь, 1985. – 128 с. : ил. – (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры). – 4800.
Приведены результаты расчетов. |
