| К 73 |
Котлецов, Б. Н.
Микроизображения [Текст] : Оптические методы получения и контроля / Б. Н. Котлецов. – М. : Машиностроение, 1985. – 240с : ил. – Библиогр.: с.234-239. – 2850.
В книге рассмотрены теория и технические средства получения и контроля изображений оптическими методами в микроэлектронике. |
