| М 97 |
Мьюрарка, Ш. П.
Силициды для СБИС [Текст] / Ш. П. Мьюрарка ; Перевод с англ.В.В.Баранова; Под ред.Ю.Д.Чистякова. – М. : Мир, 1986. – 176с : ил. – Библиогр.:с.6-7. – 4000.
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований электрических, термодинамических и механических свойств силицидов - соединений кремния с переходными металлами. |
