| Р 15 |
Радиотехника и электроника [Текст] : Респ. межвед. сборник научных трудов. Вып.17. – Минск : Выш. школа, 1988. – 123с. – 1100.
Содержит работы, отражающие исследования, основные закономерности ионно-плазменных, фотонных и электрохимических процессов при изготовлении интегральных микросхем. Для работников радио- и электронной промышленности, а также преподавателей вузов соответствующего профиля. |
