| П 16 |
Панфилов, Ю. В.
Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы [Текст] : Учебн. для техникумов / Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветов. – М. : Радио и связь, 1988. – 320с : ил. – 20000.
Изложены конструкции и принцип действия современного оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Для учащихся техникумов. |
