M 59 |
Микроэлектронные устройства. Проектирование и технология [Текст] : Межвуз. сборник / Красноярск. политехн. ин-т; Редкол.: А.Д.Карпов и др. – Красноярск : КрПИ, 1988. – 169с : ил. – 500.
Рассмотрены модели расчета приборов опто- и СВЧ микроэлектроники и технических процессов их изготовления. |