| А 85 |
Арсенид галлия в микроэлектронике [Текст] / У.Уиссмен, У.Френсли, У.Дункан и др.; Под ред.Н.Айнспрука, У.Уиссмена; Пер. с англ. под ред. В.Н.Мордковича. – М. : Мир, 1988. – 555с : ил. – Библиогр. в конце глав. – 4600.
В монографии, написанной американскими и японскими специалистами, подробно рассмотрены вопросы физики, разработки и технологии изготовления арсенидгаллиевых интегральных схем, обладающих высоким быстродействием. Для специалистов в области технологии изделий микроэлектроники. |
