| А 46 |
Александров, В. К.
Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообьектов [Текст] / В. К. Александров, Ю. Н. Биенко, В. Н. Ильин. – Мн. : Наука и техника, 1988. – 240 с. – 2310.
Обобщен и систематизирован опыт разработки и создания оптико-электронных методов и средств контроля и анализа линейных размеров технологических микрообьектов. |
