| Ч 56 |
Чехович, Е. К.
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники [Текст] / Е. К. Чехович. – Мн. : Наука и техника, 1989. – 213с. – 1700.
Обобщен и систематизирован опыт разработки и создания оптико-электронных средств автоматизированного контроля линейных размеров элементов топологии изделий микроэлектроники. Предназначена для научных и инженерно-технических работников. |
