| Ф 50 |
Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике [Текст] : Сб. науч. трудов. – Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1989. – 196с. – 600.
В сборник включены работы, посвященные исследованию различных аспектов физико-химии полупроводниковых материалов и приборов. Издание расчитано на научных работников. |
