| М 18 |
Маллер, Р.
Элементы интегральных схем [Текст] / Р. Маллер, Т. Кейминс ; пер. с англ. – М. : Мир, 1989. – 630с : ил. – 15000.
В книге изложены основы физики и технологии изготовления элементов кремниевых ИС. Для специалистов по проектированию полупроводниковых ИС. |
