| К 64 |
Компоненты и материалы электронной техники [Текст] : Сб. науч. трудов / Отв. ред. Д.И.Левинзон. – К. : УМК ВО, 1989. – 156с. – 1000.
Приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований технологических процессов получения полупроводниковых структур. Для научных и инженерно-технических работников. |
