| Б 90 |
Бубенников, А. Н.
Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем [Текст] : Учеб. пособие для вузов по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники" / А. Н. Бубенников. – М. : Высш.шк., 1989. – 320с : ил. – 25000.
В книге рассмотрены математические модели интегральных микротехнологий, приборов и схем; описаны основные принципы построения моделей; технологических, физико-топологических, схемных, элементно-фрагментных и методы индентификации их параметров; рассмотрены основы математического обеспечения численного расчета БИС. |
