| Ч 49 |
Черняев, А. В.
Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / А. В. Черняев. – М. : Радио и связь, 1990. – 87с : ил. – Библиогр.: с.83-86. – 4500.
В книге систематизированы сведения о закономерностях процессов имплантации ионов в арсенид галлия, образования радиационных дефектов и о влиянии свойств исходного материала на параметры имплантационных слоев. Для научных работников. |
