| П 52 |
Полтавцев, Ю. Г.
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев. – К. : Тэхника, 1990. – 206с. – Библиогр.: с.197-204. – 4000.
Освещена прогрессивная технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем: химическая обработка поверхности на скрубберах, в кислотных и основных растворах, в растворах с использованием поверхностно-активных веществ, удаление загрязнений в низкотемпературной плазме, очистка с использованием лазерного излучения. Расчитана на инженерно-технических работников. |
