| М 80 |
Моро, У.
Микролитография [Текст] = Microdevices: Physics and Fabrication Technologies : Принципы, методы, матералы: В 2 ч. Ч.2 / У. Моро ; Пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова; Предисл. К.А.Ваалиева. – М. : Мир, 1990. – 632с : ил. – 6700.
Представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей. |
