М 80 |
Моро, У. Микролитография [Текст] = Microdevices: Physics and Fabrication Technologies : Принципы, методы, материалы: В 2 ч. Ч.1 / У. Моро ; Пер. с англ. под ред. Р.Х.Тимерова; Предисл. К.А.Валиева. – М. : Мир, 1990. – 605с : ил. – Библиогр.: с.595-602. – 6700.
Представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей. |