| М 74 |
Моделирование технологических процессов изготовления БИС [Текст] : Учеб. пособие для спец. "Электрон. приборы и устройства", "Микроэлектроника", "Системы автоматизир. проектирования" и "Конструирование и технология вычисл. средств" / А.И. Петренко, Ю.С. Синекоп, Г.А. Матросова и др.; МВ и ССО УССР, УМКВО и др. – К. : УМКВО, 1990. – 319с : ил. – Библиогр.: с.310-317. – 800.
В данном пособии рассмотрены вопросы моделирования и автоматизации проектирования технологических процессов изготовления БИС. Пособие предназначено для студентов. |
