| Б 90 |
Бузанева, Е. В.
Микроструктуры интегральной электроники [Текст] / Е. В. Бузанева. – М. : Радио и связь, 1990. – 304с : ил. – Библиогр.: с.289-298. – 5400.
Монография посвящена электронным процессам в тонкослойных структурах. Рассмотрена связь электрофизических характеристик и физических параметров микроструктур на полу- и сверхпроводниках. Изложены основы физики, микротехнологии и применения микроструктур на элементарных, сложных полупроводникамх и высокотемпературных сверхпроводниках в приборах, устройствах и сверхбольших сверхскоростных микросхемах. Для научных работников, специализирующихся в области микроэлектроники, полупроводниковых и сверхпроводниковых приборов. |
