| Б43 |
Белов, И. А.
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. – Л. : Политехника, 1991. – 288с : ил. – 2000.
В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. |
