| Р32 |
Ревенок, В. И.
Разработка устройства контроля технологического процесса травления материалов в низкотемпературной плазме [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 : защищена 28.10.89 / Виктор Иванович Ревенок ; ВПИ. – Винница, 1989. – 199 с. – Библиогр.: с.160-172.
Целью диссертационной работы является исследование и выбор оптимального метода оперативного контроля момента окончания процесса травления материалов на определенную глубину, а также создание устройства контроля на его основе. |
