| Г94 |
Гулка, З. Н.
Информационно-измерительная система контроля технологических параметров изделий электронной техники [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.16 : защищена 25.10.85 / Зинаида Николаевна Гулка ; Кишинев. политехн. ин-т. – Кишинев, 1985. – 174 с. : ил. – Библиогр.: с.136-149.
В представленной диссертации решаются следующие задачи: на основе статистического анализа технологического процесса формирования кристалла интегральной схемы и изучения специфических особенностей высокотемпературных диффузионных операций предлагается схема организации информационно-измерительных систем (ИИС) контроля технологических параметров; разрабатываются алгоритмы функционирования ИИС контроля технологического процесса. Результаты контроля используются для определения и последующего анализа математических моделей диффузионных операций. |
